在杭州城西科創(chuàng)大走廊的核心區(qū)域，浙江大學(xué)成果轉(zhuǎn)化基地近日宣布了一項(xiàng)重大科技突破：全國(guó)首臺(tái)自主研發(fā)的商業(yè)級(jí)電子束光刻機(jī)“羲之”已成功邁入應(yīng)用測(cè)試階段，其技術(shù)性能與國(guó)際頂尖設(shè)備并駕齊驅(qū)，標(biāo)志著中國(guó)在量子芯片制造領(lǐng)域擁有了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的“刻刀”。
這款100kV電子束光刻機(jī)，是在浙江省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的堅(jiān)實(shí)支撐下孕育而生的科技結(jié)晶，如今已正式開啟市場(chǎng)化征程。研發(fā)團(tuán)隊(duì)自豪地介紹，“羲之”專為量子芯片及新型半導(dǎo)體材料的研發(fā)設(shè)計(jì)而生，利用精密的高能電子束，在硅基底上“精雕細(xì)琢”出電路圖案，其精度高達(dá)0.6納米，線寬則達(dá)到8納米。尤為“羲之”無(wú)需傳統(tǒng)掩膜版，設(shè)計(jì)靈活可變，極大提升了芯片研發(fā)初期的調(diào)試效率。
長(zhǎng)期以來(lái)，此類高端光刻設(shè)備受限于國(guó)際出口管制，導(dǎo)致包括中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、之江實(shí)驗(yàn)室在內(nèi)的眾多國(guó)內(nèi)頂尖科研機(jī)構(gòu)面臨采購(gòu)難題。“羲之”的問世，無(wú)疑為這一困境帶來(lái)了曙光。更為振奮人心的是，相較于國(guó)際市場(chǎng)同類產(chǎn)品的平均價(jià)格，“羲之”展現(xiàn)出了更高的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)，目前正與多家企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)積極洽談合作事宜。
這一里程碑式的成就，不僅彰顯了中國(guó)在高科技領(lǐng)域自主創(chuàng)新的決心與實(shí)力，更為全球量子芯片及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入了新的活力與可能。
