國產(chǎn)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備制造領(lǐng)域正迎來蓬勃發(fā)展期，其中，一家新興企業(yè)——成都入江富樂德精密機械有限公司（以下簡稱“成都入江富樂德”），憑借其出色的技術(shù)和產(chǎn)品，在成都半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中嶄露頭角。
今年3月，成都入江富樂德正式在成都市龍泉驛區(qū)開業(yè)，專注于波紋管和真空閥門的制造。近日，記者探訪了這家公司，深入了解了其在半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備閥門制造領(lǐng)域的創(chuàng)新成果。
在成都入江富樂德的生產(chǎn)車間，閥門設(shè)計課副課長于洲向記者展示了公司的閥門產(chǎn)品，并詳細闡述了其技術(shù)特性。他介紹，在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，閥門扮演著至關(guān)重要的角色，它們負責(zé)隔離與保護、流量與壓力控制、傳輸與定位以及確保系統(tǒng)的安全性與可靠性。
然而，目前國內(nèi)真空閥門制造領(lǐng)域面臨的一大難題是微小顆粒的控制。閥門在開關(guān)過程中會產(chǎn)生顆粒，而半導(dǎo)體客戶對顆粒的要求極為嚴(yán)格，任何不合格都會導(dǎo)致產(chǎn)品不良率顯著上升。于洲自豪地表示，成都入江富樂德的閥門具有低振動、低顆粒產(chǎn)生和長壽命的特點，即使在連續(xù)開合6萬次后，產(chǎn)生的顆粒數(shù)量也僅為10顆。
為了確保產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性，成都入江富樂德對閥門進行了嚴(yán)格的測試。針對12寸小型的半導(dǎo)體閥門，公司正在進行包括氦檢測試、顆粒測試、振動測試和壽命測試在內(nèi)的多項測試。目前，壽命測試已進行了約180萬次的動作循環(huán)，每隔20萬次都會進行一次全面的性能測試。該閥門的設(shè)計壽命為200萬次，但公司設(shè)定了更高的測試目標(biāo)，即動作達到300萬次，以確保其壽命的安全系數(shù)不小于1.5。
作為國產(chǎn)半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備閥門制造的新秀，成都入江富樂德不僅注重技術(shù)創(chuàng)新，還高度重視四川本土化生產(chǎn)。記者了解到，公司的小型閥門生產(chǎn)主要集中在成都，而大型閥門和波紋管的生產(chǎn)則在內(nèi)江進行，投資超過3億元，占地面積達9000平方米的廠房已正式投入使用。目前，公司的客戶涵蓋了北方華創(chuàng)、中微半導(dǎo)等知名企業(yè)。
天眼查APP顯示，成都入江富樂德成立于2023年，是安徽入江富樂德精密機械有限公司的全資子公司。股權(quán)關(guān)系顯示，入江工研株式會社與富樂德分別持有安徽入江富樂德51%和49%的股份。富樂德是一家在泛半導(dǎo)體領(lǐng)域提供設(shè)備精密洗凈服務(wù)的知名企業(yè)，于2022年12月登陸創(chuàng)業(yè)板，專注于為半導(dǎo)體和顯示面板生產(chǎn)廠商提供一站式設(shè)備精密洗凈服務(wù)。
