蘇州博眾儀器科技有限公司近日宣布了一項(xiàng)重大技術(shù)突破，成功研發(fā)并發(fā)布了國(guó)產(chǎn)首臺(tái)商用200千伏場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡BZ-F200。這款顯微鏡的點(diǎn)分辨率達(dá)到了0.25納米，晶格分辨率更是高達(dá)0.14納米，使其能夠清晰解析多數(shù)材料的晶格結(jié)構(gòu)。
透射電子顯微鏡作為影響我國(guó)工業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)之一，其國(guó)產(chǎn)替代的重要性不言而喻。博眾儀器的BZ-F200不僅突破了技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)了從“零”到“有”的跨越，還打通了產(chǎn)業(yè)化的道路，為國(guó)產(chǎn)高端科研設(shè)備的崛起奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
博眾儀器的總經(jīng)理唐愛(ài)權(quán)介紹，BZ-F200的研發(fā)歷經(jīng)五年，期間團(tuán)隊(duì)攻克了無(wú)數(shù)技術(shù)難題，從整機(jī)到每一個(gè)零部件，都掌握了核心技術(shù)。這款顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，包括材料科學(xué)、生命科學(xué)以及半導(dǎo)體行業(yè)，將有效推動(dòng)新業(yè)態(tài)、新模式的發(fā)展，成為新質(zhì)生產(chǎn)力的重要推動(dòng)力。
BZ-F200透射電鏡主要針對(duì)集成電路、材料研發(fā)及前沿科學(xué)領(lǐng)域，適用于晶格結(jié)構(gòu)解析、缺陷分析、界面表征及成分分析等多方面研究。在此之前，高端透射電鏡市場(chǎng)長(zhǎng)期被國(guó)外企業(yè)壟斷，核心零部件技術(shù)也受制于國(guó)外封鎖。博眾儀器通過(guò)自主研發(fā)，成功突破了這一瓶頸，實(shí)現(xiàn)了熱場(chǎng)電子槍、超高穩(wěn)定度電源等核心零部件的國(guó)產(chǎn)化。
重慶大學(xué)教授張大梁作為BZ-F200的用戶代表，高度評(píng)價(jià)了這款顯微鏡的重要性。他表示，微觀結(jié)構(gòu)表征對(duì)于理解材料的應(yīng)用屬性至關(guān)重要，BZ-F200在復(fù)雜晶體結(jié)構(gòu)解析、微區(qū)結(jié)構(gòu)表征及納米尺度形貌分析等領(lǐng)域具有不可替代的作用。這一突破不僅提升了我國(guó)在透射電鏡領(lǐng)域的技術(shù)水平，更為我國(guó)高科技產(chǎn)業(yè)的自立自強(qiáng)提供了有力支持。
