11月17日舉行的2021“專精特新”冬季新品發(fā)布會上,由深圳市軸心自控技術(shù)有限公司現(xiàn)場展示的“半導(dǎo)體大氣式等離子表面處理系統(tǒng)”(以下以其中一款機型“MYS10設(shè)備”為指代),打破了被國外廠商長期壟斷的格局,在關(guān)鍵性能指標(biāo)上甚至實現(xiàn)超越。
MYS10設(shè)備是一款高靈活性、高兼容性小巧型平臺,一般應(yīng)用在半導(dǎo)體、PCB板、LED顯示等行業(yè)的生產(chǎn)工藝中的清洗及活化,解決電子元器件表面的污跡、燒結(jié)等缺陷隱患,可以稱作是半導(dǎo)體等行業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)中的重中之重,對于提升產(chǎn)品合格率良率至關(guān)重要。
據(jù)了解,經(jīng)過多年攻關(guān),目前產(chǎn)品已經(jīng)得到國內(nèi)外主流的半導(dǎo)體、屏顯廠商的認(rèn)可及使用。
軸心自控產(chǎn)品推薦官熊欽介紹入圍產(chǎn)品
打破壟斷 從跟隨到引領(lǐng)
軸心自控瞄準(zhǔn)半導(dǎo)體生產(chǎn)中的一道重要且細(xì)分工序——等離子清洗,創(chuàng)新推出的“半導(dǎo)體大氣式等離子表面處理系統(tǒng)”吸引了發(fā)布會現(xiàn)場眾多目光。
眾所周知,半導(dǎo)體前端晶圓級和后端封裝級生產(chǎn)工序中,由于有機臟污、金屬氧化物、顆粒污染等在器件和材料表面,這些臟污會明顯地影響封裝生產(chǎn)及產(chǎn)品質(zhì)量。行業(yè)一般利用等離子體清洗技術(shù),能夠很有效清除掉生產(chǎn)過程中形成的這些分子水平的污染,從而顯著地改善封裝的可制造性、可靠性及成品率。
不僅半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),消費電子、汽車電子、顯示等產(chǎn)業(yè)各類產(chǎn)品為提高產(chǎn)品穩(wěn)定性和可靠性,都離不開這道工藝技術(shù)。
“此前,產(chǎn)業(yè)普遍采用真空等離子處理技術(shù),但是這種技術(shù)被國外廠商長期壟斷,等于說受制于人。”軸心自控產(chǎn)品經(jīng)理熊欽介紹,一臺同類型設(shè)備費用高昂,差不多在15萬美元以上,采購時根本沒有話語權(quán)。
MYS10設(shè)備打破了這種壟斷,其業(yè)內(nèi)首創(chuàng)的常壓式氬氣等離子系統(tǒng)在多項關(guān)鍵指標(biāo)上實現(xiàn)超越,也使得我國同類產(chǎn)品在國際上從跟隨者躍升為引領(lǐng)者。根據(jù)介紹,該設(shè)備可兼容各種不同尺寸的產(chǎn)品,且可快速切換,最大可處理85寸產(chǎn)品;100%中性等離子,多種化學(xué)制程,沒有離子轟擊,不會對產(chǎn)品帶來傷害,更安全友好;除此之外,多種機臺不同配置可滿足不同產(chǎn)品應(yīng)用,所以基本能滿足不同領(lǐng)域產(chǎn)品生產(chǎn)需求。
傳統(tǒng)的處理系統(tǒng)需要真空處理和填充惰性氣體兩道繁瑣工序,MYS10設(shè)備做了更多創(chuàng)新,通過消除傳統(tǒng)真空式等離子處理的等待時間,這套系統(tǒng)在帶來產(chǎn)能和良率提升的同時,也能確保安全處理所有敏感性電子元件。與此同時,100mm寬等離子在線式批量處理,可進一步滿足高產(chǎn)能,據(jù)估算,相比傳統(tǒng)方式效率可提升2-5倍,成本降低30%以上。
熊欽表示:“以前受制于國外壟斷,現(xiàn)在國產(chǎn)不僅實現(xiàn)替代,性能價格上相比較也有了更大的優(yōu)勢”。據(jù)了解,產(chǎn)品自今年5月份發(fā)布,收到客戶非常積極的評價,普遍認(rèn)為非常具有創(chuàng)造性和實用性,現(xiàn)在已經(jīng)陸續(xù)出貨接近20臺。
入圍產(chǎn)品“MYS10設(shè)備”
創(chuàng)新讓小企業(yè)跑出加速度
此次獲評廣東省“專精特新”的20家企業(yè)中,不乏在所屬的細(xì)分領(lǐng)域精耕細(xì)作、苦練內(nèi)功的“小企業(yè)”,它們在核心技術(shù)上不斷突破,干出了令人稱道的“大事業(yè)”,軸心自控更是其中的典型代表。
自2008年站在“起跑線”,軸心自控從一家小企業(yè)逐漸成長為中國流體自動化領(lǐng)域首屈一指的制造商,源于多年來堅持核心技術(shù)的基礎(chǔ)研發(fā)。“不斷拓展新思路,不斷發(fā)現(xiàn)新問題,不斷試錯。”熊欽回憶起漫長的開發(fā)歷程不斷提到這一點。
這種創(chuàng)新精神帶來的正向反饋讓企業(yè)越跑越快,公司不僅成為多家全球制造行業(yè)巨頭的重要合作伙伴,同時深度參與制定行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),引領(lǐng)行業(yè)發(fā)展。