2022年9月，上海復享光學股份有限公司（以下簡稱“復享光學”）通過與頭部客戶的深度打磨和產線驗證，歷時一年，完成了針對刻蝕應用場景的光譜儀—ZURO系列產品的研發與量產導入，為集成電路產業提供了面向6、8、12寸制程刻蝕工藝的光譜檢測解決方案。
ZURO系列光譜儀匹配半導體行業標準，滿足針對金屬刻蝕、單多晶硅刻蝕、化合物刻蝕及高速清洗等多個應用場景需求，具有信號精準、性能長期穩定、Fab生產環境適應等特點。該系列產品具備高靈敏、高信噪比等優勢，單幀采集最大動態范圍突破40000:1，優于同類國外產品，能夠有效提取深孔和多晶硅刻蝕過程中的弱信號。此外，為ZURO系列光譜儀配備的軟件，ideaEPD是一款由復享光學深入客戶應用開發的Fab工藝專用軟件，支持自定義終點算法、工藝終點分析、高速采樣監控、刻蝕深度監控等功能，能實現多達10臺腔體的同時監控。復享光學已完成ZURO系列產品的國產驗證與量產準備，能為客戶進行差異化的定制開發，解決頭部客戶的關鍵光學零部件供應安全問題。目前，復享光學的多系列光譜模組產品已經獲得多家半導體頭部客戶的驗證、生產導入及小批量訂單。隨著對需求響應的不斷深入和工程參數的持續優化，復享光學從起量階段逐步進入到放量階段，以光譜硬科技助力產業發展。
復享光學歷時十年，深耕微納光電子領域，發展智能化全光譜技術，著力于光子學與人工智能的融合，形成了算法驅動的深度光譜平臺，成為了中國領先的晶圓級制造與量檢測設備關鍵零部件光譜模組供應商。
復享光學創始團隊出身于國內資深光子學研究實驗室，在發展中進一步吸納了海內外微納光電子領域知名研究人員和半導體產業專家，已擁有近百項知識產權。
值得一提的是，復享光學于2019年獲批成立“上海微納制程智能檢測工程技術研究中心”，這是國內首個在半導體領域開展微納制程光學量檢測技術研究的應用平臺。為進一步探索集成電路領域光檢測基礎技術，公司于2021年與復旦大學共同建立“光檢測與光集成校企聯合研究中心”，致力于攻關微納制造產業中更為前沿的共性關鍵技術與工藝問題。
據復享光學介紹，隨著集成電路制程先進工藝的不斷提升和新型光電子芯片應用的興起，晶圓制造工藝的量檢測需求日益凸顯。光學衍射極限的存在使得成像技術難以滿足產業發展需求，光譜分析技術已存在于各類微納制造與量檢測設備之中，成為支撐集成電路和光電子芯片產業制造工藝的關鍵技術之一。
半導體設備是半導體產業的基礎。晶圓前道制造是半導體制程中最重要的階段。光刻、薄膜沉積、刻蝕、摻雜、表面處理等環節的工藝中與工藝間控制都需要用到多種光學與電學檢測手段，是確保晶圓生產良率的關鍵。隨著制程精度的提升，光學檢測的比重將進一步擴大。縱觀當前集成電路制造過程中的量檢測設備，都離不開深度光譜技術。據行研報告了解，目前，我國半導體設備國產化率尚不足10%，關鍵零部件不足1%，光譜模組則幾乎為零，“產業鏈全面國產化”已成為這個時代的一大主題。
復享光學作為國內光學領域領軍企業，提供芯片制程工藝控制中各類光譜模組及量檢測解決方案。通過十年的行業積累，公司已擁有超3000家優質客戶，成功進入半導體產業頭部企業的供應商名錄，并與超170家半導體、高端材料、生物醫藥企業形成交流與合作。
賦能中國微納制造，將是復享光學未來一段時期內的首要任務。復享光學創始人殷海瑋博士表示，接下來一年，公司將持續聚焦高端光譜模組的品質提升、技術迭代以及產能擴大，以進一步滿足下游設備企業需求。
復享光學于2021年完成超億元B輪融資，由半導體頭部產業基金中芯聚源領投，上海科創集團、中科創星、長江證券、海通證券、泰坦科技跟投。據悉，復享光學近期將啟動C輪融資，資金用于高端人才擴充、生產場地擴容、研發設備升級，以及微納制造領域前沿技術布局等戰略方向。
