來源:天極網(wǎng)
臺(tái)積電作為全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體廠商,現(xiàn)在有外媒報(bào)道稱其正在大規(guī)模購買 EUV 光刻機(jī),以此來保持其在業(yè)界的領(lǐng)先地位。
根據(jù) TOMSHARDWARE 報(bào)道,臺(tái)積電表示其部署的極紫外光 ( EUV ) 光刻工具已占全球安裝和運(yùn)行總量的 50% 左右,這意味著其使用的 EUV 機(jī)器數(shù)量超過了業(yè)內(nèi)其他任何一家公司。

為了保持領(lǐng)先,臺(tái)積電已經(jīng)下單訂購了至少 13 臺(tái) ASML 的 Twinscan NXE EUV 光刻機(jī),將會(huì)在 2021 年全年交付,不過具體的交付和安裝時(shí)間表尚不清楚。
同時(shí),明年臺(tái)積電實(shí)際需求的數(shù)量可能是高達(dá) 16 到 17 臺(tái) EUV 光刻機(jī)。
當(dāng)然臺(tái)積電不是唯一采購大量 EUV 光刻機(jī)的半導(dǎo)體制造商,現(xiàn)在三星為了爭(zhēng)奪更多的半導(dǎo)體訂單,正在擴(kuò)大 EUVL 工藝在生產(chǎn)上的應(yīng)用,三星半導(dǎo)體也提高了基于 EUV 工藝的 DRAM 的生產(chǎn),這也將使三星會(huì)更多的采用 Twinscan NXE 光刻機(jī)。






