【ITBEAR科技資訊】5月10日消息，據(jù)報道，中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”)推出了自主研發(fā)的12英寸低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)設(shè)備Preforma Uniflex? CW。這款設(shè)備配備了擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的優(yōu)化混氣方案及加熱臺，具有優(yōu)秀的薄膜均一性、填充能力和工藝調(diào)節(jié)靈活性。Preforma Uniflex? CW可靈活配置多達(dá)五個雙反應(yīng)臺反應(yīng)腔(十個反應(yīng)臺)，每個反應(yīng)腔可以同時加工兩片晶圓，能夠?qū)崿F(xiàn)更高的生產(chǎn)效率，同時保證較低的生產(chǎn)成本和化學(xué)品消耗。
據(jù)ITBEAR科技資訊了解，這款設(shè)備具有良好的工藝處理能力，可適應(yīng)彎曲度較大的晶圓。其階梯覆蓋率和填充能力非常優(yōu)秀，能夠滿足先進(jìn)邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應(yīng)用需求。
中微公司作為一家致力于半導(dǎo)體裝備研發(fā)的高科技企業(yè)，一直以技術(shù)創(chuàng)新為核心競爭力，致力于推進(jìn)中國半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。此次推出的Preforma Uniflex? CW設(shè)備充分展示了中微公司在自主研發(fā)方面的實(shí)力，對于中國半導(dǎo)體裝備行業(yè)的發(fā)展有著重要意義。
