10月10日消息，這對于ASML來說是不是有點魔幻，俄羅斯號稱開發出可以替代光刻機的芯片制造工具。
據俄羅斯國際新聞通訊社報道，圣彼得堡理工大學的研究人員開發出了一種“國產光刻復合體”，可用于蝕刻生產無掩模芯片，這將使“解決俄羅斯在微電子領域的技術主權問題”成為可能。
據介紹，其中一種工具的成本為 500 萬盧布（當前約36.3萬元人民幣），另一種工具的成本未知。
據開發人員稱，傳統光刻技術需要使用專門的掩膜板來獲取圖像。該裝置由專業軟件控制，可實現完全自動化，隨后的另外一臺設備可直接用于形成納米結構，但也可以制作硅膜，例如用于艦載超壓傳感器。
在這之前，俄羅斯科學院下諾夫哥羅德應用物理研究所就宣布開始朝這個方向展開工作，所以有上述成功產生并不意外。
要知道，俄羅斯大諾夫哥羅德策略發展機構發豪語，宣稱俄羅斯科學院旗下應用物理研究所將會跌破所有人眼鏡，在2028年開發出可以生產7納米芯片的光刻機，還可擊敗ASML同類產品。
【來源：快科技】
